Zur Kinetik der Gasphasenabscheidung von Silicium-Nitridschichten

• 1 April 1971
• journal article
• research article
• Published by Walter de Gruyter GmbH in Zeitschrift für Physikalische Chemie
• Vol. 246O  (1) , 357-370
• https://doi.org/10.1515/zpch-1971-24639

Abstract