512×340 Element CCD Image Sensor

Abstract
512 (V) ×340 (H) 画素を持ったフレームトランスファー方式CCDイメージセンサーを試作した.感光部は6.66mm×8.84mmで, 電極はオーバーラップ2層ポリSiである.暗電流1nA以下, 感度0.34μA/lx, 感度むら3%, そして解像度垂直340TV本, 水平240TV本が得られた.また試作センサーを用いて新しい光電変換制御方式を検討し, この方式の有効性を確認した.

This publication has 0 references indexed in Scilit: