Determination of alumina film thickness by alpha particle scattering

• 1 February 1967
• journal article
• Published by Elsevier in Talanta
• Vol. 14  (2) , 187-194
• https://doi.org/10.1016/0039-9140(67)80177-2

Abstract

Keywords

• ALUMINIUM
• METAL
• FILM
• ALPHA
• DER
• DIE
• D'UNE
• DESTRUCTIVELY