Über ein neues Verfahren zur Abscheidung von Siliziumnitridschichten auf Silizium

• 1 July 1969
• journal article
• research article
• Published by Walter de Gruyter GmbH in Zeitschrift für Physikalische Chemie
• Vol. 241O  (1) , 177-184
• https://doi.org/10.1515/zpch-1969-24124

Abstract