Structure des couches de niobium préparées par pulvérisation triode. Existence d'une phase cubique à faces centrées

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Abstract
Par pulvérisation cathodique, le niobium, normalement cubique centré ( a = 3,29 Å) donne sur NaCl des couches amorphes sur support froid, désorientées au-dessous de 100°, épitaxiques entre 100 et 400° avec les orientations (110)Nb//(100)NaCl , (111)Nb//(100)NaCl et (100)Nb// (100)NaCl. Dans les premiers stades de la pulvérisation, on peut observer une structure anormale cubique à faces centrées (a = 4,42 Å), souvent orientée suivant (100) c. f. c.//(100) NaCl, qui résulte d'une interaction du métal avec certains gaz résiduels présents dans l'enceinte ou à la surface du substrat. Sa formation peut être évitée en dégazant soigneusement le substrat et en purifiant l'atmosphère résiduelle par une pulvérisation préalable prolongée destinée à fixer tous les gaz actifs. On tente de préciser la nature de cette phase en étudiant son évolution, dans le vide résiduel d'un diffractographe, jusqu'à environ 800 °C

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