Contribution de la mesure de température par micro-sonde thermoélectrique a la microscopie thermique
- 1 September 1994
- journal article
- Published by EDP Sciences in Journal de Physique III
- Vol. 4 (9) , 1737-1750
- https://doi.org/10.1051/jp3:1994237
Abstract
Depuis une quinzaine d'années, de nouvelles techniques d'investigation non destructives faisant appel aux phénomènes photoacoustique et photothermique sont apparues et ont connu un développement important. Reposant sur le principe de détection de la température de l'air proche d'un objet soumis à un faisceau laser modulé en amplitude, l'utilisation d'un simple microcapteur thermoélectrique est rendue possible par ses qualités dynamiques élevées. Facilement mise en œuvre en transmission, où l'accès aux grandeurs thermiques d'un échantillon mince est possible, elle peut être une alternative simple dans le cas de la microscopie thermique, plus particulièrement dans l'imagerie de surface ou la détection des défauts sur circuits, la résolution latérale étant liée au diamètre du faisceau d'éclairage (quelques microns)Keywords
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- Grain and stress characterization with thermoelastic microscopyPublished by Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) ,2002
- Performance limits of microthermocouples as opto-thermal sensorsOptics Communications, 1994
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