Elaboration par le procédé pyrosol de couches minces texturées de ZnO pour la réalisation de microcapteurs

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Abstract
L'orientation cristalline de couches minces de ZnO élaborées par le procédé pyrosol est étudiée en fonction des conditions de dépôt. La qualité de la texture selon l'axe C dépend de la température du substrat, de la vitesse de dépôt, du degré d'hygrométrie du gaz vecteur et également de la qualité de la sous-couche chrome/or. Pour des dépôts réalisés avec un mélange pur et sec d'azote et d'oxygène à 495 ○C et pour une vitesse de dépôt de 35 Å/mn, le rapport de texture est inférieur à -3,5 et la désorientation de la raie 002 est inférieure à 1,6○

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