Description d'un nanoindenteur à force électrostatique

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Abstract
Cet article présente un appareil de conception nouvelle destiné à la caractérisation mécanique des films minces, et des revêtements métalliques sous très faibles charges. En l'état actuel de la réalisation, la profondeur de pénétration peut être mesurée, en environnement normal, avec une résolution de quelques Å, la force appliquée, d'origine électrostatique pouvant varier de 10-7 N à 0,2 N. L'utilisation d'actuateurs piézo-électriques permet de positionner les empreintes avec une précision de l'ordre de quelques nanomètres. De par sa conception, l'appareil apparaît pratiquement insensible aux fluctuations thermiques et ne nécessite donc pas d'ambiance thermostatée. La structure compacte de la tête de mesure rend également l'ensemble peu sensible aux vibrations parasite

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