Der Einfluß unterschiedlicher Kohlenwasserstoffe auf Darstellung, Struktur und Verschleißfestigkeit von CVD‐TiCx‐Hartstoffschichten
- 1 February 1994
- journal article
- research article
- Published by Wiley in Materialwissenschaft und Werkstofftechnik
- Vol. 25 (2) , 79-85
- https://doi.org/10.1002/mawe.19940250207
Abstract
Es wurden TiCx‐Schichten über thermisches CVD mit unterschiedlichen Kohlenwasserstoffen (Methan, n‐Heptan, Cyclohexan, Benzen, Ethylbenzen, Xylen) auf Hartmetallen abgeschieden. Der Abscheidungsprozeß, das Schichtwachstum und die Struktureigenschaften (Textur, Substruktur) der Schichten werden wesentlich vom eingesetzten Kohlenwasserstoff beeinflußt. Es werden Korrelationen zwischen der thermischen Stabilität der Kohlenwasserstoffe, dem Abscheidungsverhalten, der Abscheidungsrate und den Schichtstruktureigenschaften aufgezeigt sowie Schlußfolgerungen für praktische Anwendungen gezogen.Keywords
This publication has 3 references indexed in Scilit:
- Mass spectrometric study of the high temperature chemistry of benzeneCombustion and Flame, 1983
- Microhardness and texture of TiCx layers on cemented carbidesJournal of the Less Common Metals, 1982
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