Controle de couches minces transparentes d'épaisseurs optiques quelconques application à des couches extrêmement minces

Publisher Website
Google Scholar
Abstract
On montre comment on peut utiliser le « maximètre » pour le contrôle pendant l'évaporation de couches non λ/4 et en particulier de couches extrêmement minces. Deux méthodes sont proposées. La première, très simple et très générale, utilise un verre témoin ; l'autre nécessite des calculs préalables difficiles mais permet le contrôle sur le verre à traiter lui-même. Ces méthodes permettent, avec une précision suffisante, le contrôle de couches d'épaisseur optique de l'ordre de λ/200. Un exemple d'application est proposé : l'amélioration de planéité des lames d'interféromètre de Fabry-Perot