Struktur gesputterter amorpher Aluminiumoxidschichten

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Abstract
PVD‐erzeugte Hartstoffschichten haben vor allem im Werkzeugsektor in den vergangenen Jahren verstärkt Eingang gefunden.Um die Beschichtung eines Werkzeugs oder Bauteils in geeigneter Weise gemäß den gegebenen Beanspruchungskomplexen optimieren zu können, ist es notwendig, genaue Kenntnisse über bestimmte Basiseigenschaften, wie Härte oder Haftfestigkeit sowie über die Wechselwirkungen zwischen den Abscheideparametern und den Schichteigenschaften zu gewinnen.Eine dieser Basiseigenschaften, die das Verhalten einer Schicht maßgeblich beeinflussen, ist deren Struktur. An gesputterten Aluminiumoxid‐Schichten wurde die Schichtstruktur in Abhängigkeit von den Beschichtungs‐ und Vorreinigungsparametern untersucht.Insbesondere der durch das sogenannte Sputtercleaning beeinflußte Oberflächenzustand der Substrate beeinflußt das Aufwachsverhalten der Schichten in starkem Maße. Darüber hinaus konnten die Auswirkungen von Beschichtungsdruck und Sputteratmosphäre auf die Schichtstruktur gezeigt werden.Am Beispiel eines Verschleißversuches werden die Abhängigkeiten zwischen Schichtstruktur und Schichtverhalten unter tribologischer Beanspruchung dargestellt.