La spectroscopie des électrons Auger

Publisher Website
Google Scholar
Abstract
Nous décrivons une nouvelle méthode d'analyse des couches superficielles. Cette méthode est basée sur l'observation de maxima subsidiaires dans les spectres d'énergie des électrons secondaires émis par des cibles bombardées par des électrons. Ces maxima sont dus aux électrons Auger. Après avoir rappelé quelques notions fondamentales sur l'émission secondaire des électrons, nous décrivons un appareil permettant une bonne résolution des pics Auger. Enfin, nous exposons les travaux déjà faits avec cette technique. Ils montrent qu'elle détecte très bien les éléments légers et qu'elle peut déterminer quantitativement les impuretés superficielles