Die Herstellung dünner Silizium-Einkristallschichten durch Kathodenzerstäubung

• 1 February 1961
• journal article
• Published by Springer Nature in The European Physical Journal A
• Vol. 165  (1) , 47-52
• https://doi.org/10.1007/bf01378084

Abstract

Keywords

• SILICON
• THINNING
• FILMS
• ARGON
• SINGLE CRYSTAL
• POLISHING
• BOMBARDMENT
• MICRONS
• DISKS