Abstract
Die bei der elastischen Streuung von 1,5 MeV‐Protonen an AIIIBV‐Mischkristallen erhaltenen Spektren wurden analysiert und auf diese Weise die Probenzusammensetzung bestimmt. Die Methode der Mikroanalyse mittels Rückstreuspektrometrie wird kurz erläutert und ihre Anwendung anhand zweier Beispiele ausführlich beschrieben. Die Resultate der Rückstreumessungen und die mittels anderer Analyseverfahren erhaltenen Ergebnisse zeigen eine gute Übereinstimmung. Im Anhang werden die Massen‐ und die Tiefenauflösung der beschriebenen Rückstreutechnik näher betrachtet.