Anwendung der Protonen‐Rückstreuanalyse zur Bestimmung der Zusammensetzung von AIIIBV‐Mischkristallen
- 1 January 1975
- journal article
- research article
- Published by Wiley in Crystal Research and Technology
- Vol. 10 (5) , 561-570
- https://doi.org/10.1002/crat.19750100512
Abstract
Die bei der elastischen Streuung von 1,5 MeV‐Protonen an AIIIBV‐Mischkristallen erhaltenen Spektren wurden analysiert und auf diese Weise die Probenzusammensetzung bestimmt. Die Methode der Mikroanalyse mittels Rückstreuspektrometrie wird kurz erläutert und ihre Anwendung anhand zweier Beispiele ausführlich beschrieben. Die Resultate der Rückstreumessungen und die mittels anderer Analyseverfahren erhaltenen Ergebnisse zeigen eine gute Übereinstimmung. Im Anhang werden die Massen‐ und die Tiefenauflösung der beschriebenen Rückstreutechnik näher betrachtet.Keywords
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