On suit l'évolution des couches minces au cours de leur recuit par la mesure des variations de la résistance électrique. On distingue ainsi une phase de recristallisation et une phase de « coagulation ». Les structures sont ensuite étudiées par diffraction des rayons X et par microscopie électronique. Des valeurs de la résistance, on peut évaluer l'énergie d'activation du phénomène