Abstract
La méthode de microanalyse par l'observation directe de réactions nucléaires a été appliquée au dosage de l'azote 14. Le spectre caractéristique de cet isotope, bombardé par des deutons, a été étudié à diverses énergies. Les sections efficaces différentielles des réactions observées, de type (d, p) et (d, α), ont été mesurées entre 600 et 1 400 keV. Le pic de la réaction N14(d, α)C12, dont l'énergie est d'environ 10 MeV, est très isolé et permet de doser l'azote en présence de la plupart des autres éléments. D'autres pics du spectre peuvent être utilisés en l'absence de noyaux tels que B10, F19, et fournissent des taux de comptage supérieurs. La sensibilité de cette méthode d'analyse non destructive est de l'ordre de 10-3 μg/cm 2. Un échantillon d'une surface de 1 mm2 peut être dosé aisément. Les mesures quantitatives sont rendues absolues par l'utilisation d'étalons de nitrure de tantale. L'application de ces techniques à l'étude de la pulvérisation cathodique réactive permet de mettre en évidence l'influence de la pression partielle d'azote sur la composition des dépôts de nitrures. D'autres applications à l'étude de la nitruration à chaud de divers métaux sont présentées