Ein Interferenzverfahren zur Absolutprüfung von Planflächennormalen. I

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Abstract
Es wird ein Interferenzverfahren beschrieben, welches die absolute Bestimmung der Abweichungen einer Plattenoberfläche von einer idealen Ebene gestattet, ohne eine solche Ebene materiell als Vergleichsebene zu benötigen. Die Bestimmung ist zunächst auf drei um 120° versetzten Durchmessern möglich (Erweiterungen im einzelnen in Teil II [23]). Das Verfahren arbeitet mit Interferenzen am reellen Keil zwischen den Oberflächen je zweier von insgesamt drei Platten, die photographiert und graphisch-rechnerisch ausgewertet werden. Mit Zweistrahlinterferenzen und Äquidensiten wurde bisher eine Genauigkeit von 3,5 nm erreicht. Das Verfahren ist geeignet zur Prüfung bei der Herstellung von Ebenheitsnormalen und z.B. von Interferometerplatten.

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