Caractérisation électrique et optique de couches minces de WO3 et MoO3 préparées par décomposition en phase vapeur (CVD)
- 1 March 1992
- journal article
- Published by EDP Sciences in Journal de Physique III
- Vol. 2 (3) , 383-394
- https://doi.org/10.1051/jp3:1992136
Abstract
Les variations de la conductivité électrique et des paramètres optiques de dispersion, définis par Wemple et Didomenico, de couches minces de Wo3 et MoO3, préparées par décomposition chimique en phase vapeur, ont été étudiées. L'influence des modes d'oxydation et de l'épaisseur est mise en évidence et analysée en liaison avec la morphologie des couchesKeywords
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