Control of diffusion induced dislocations in phosphorus diffused silicon

• 31 August 1966
• journal article
• Published by Elsevier in Solid-State Electronics
• Vol. 9  (8) , 807-812
• https://doi.org/10.1016/0038-1101(66)90119-5

Abstract

Keywords

• PHOSPHORE
• FUNCTION
• DIFFUSION
• DISLOCATIONS
• DES
• EST
• DER
• WIRD EBENFALLS
• D'IMPURETÉ
• À APPARAÎTRE