Films minces d'oxycarbonates préparés par ablation laser pulsé : du système monocible au système multicible

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Abstract
L'étude microstructurale des films minces supraconducteurs de formule générale : , déposés à partir d'une seule cible, a montré qu'ils sont formés de nombreuses intercroissances. Ceci les rend pratiquement inutilisables pour des caractérisations physiques fines. Dans cet article sont présentées les étapes de la mise en oeuvre du système multicible nécessaire à la croissance d'un empilement régulier. The microstructural study of superconductor thin films with general formula: , grown from a single target, has shown that these films exhibited numerous intergrowth phases. Such films can not be used for precise physical studies. To obtain a regular stacking along a growth direction perpendicular to the substrate a multi-target system has to be used. The preliminary results of this study are presented herein.

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