R.f. sputtered MoS2 parameter effects on wear life

• 1 December 1979
• journal article
• Published by Elsevier in Thin Solid Films
• Vol. 64  (2) , 223-229
• https://doi.org/10.1016/0040-6090(79)90514-5

Abstract

Keywords

• R.F
• SPUTTERED MOS2
• MOS2 PARAMETER
• WEAR LIFE
• PARAMETER EFFECTS