Schichtdickenbestimmung und elektrische Leitfähigkeit metallischer Aufdampfschichten

• 1 August 1964
• journal article
• research article
• Published by Springer Nature in Zeitschrift für Physik
• Vol. 181  (4) , 368-390
• https://doi.org/10.1007/bf01380869

Abstract

Keywords

• THICKNESSES
• CONDENSATION TEMPERATURES
• LOW CONDENSATION
• TEMPERATURE DEPENDENCE
• CU FILMS
• RESISTANCE