Bestimmung von Kohlenstoff in Halbleiter-Silicium

• 1 September 1966
• journal article
• Published by Springer Nature in Analytical and Bioanalytical Chemistry
• Vol. 216  (3) , 319-322
• https://doi.org/10.1007/bf00513873

Abstract

Keywords

• SILICON
• CHLORID
• HALBLEITER
• KOHLENSTOFF
• SYSTEMATIC ERROR
• CARBON DIOXIDE
• SILICIUM
• CHROMATE
• C/G