Influence de la température sur la cinétique de condensation de couches minces pulvérisées
- 1 March 1971
- journal article
- Published by Elsevier in Thin Solid Films
- Vol. 7 (3-4) , R21-R25
- https://doi.org/10.1016/0040-6090(71)90079-4
Abstract
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- Mécanismes de “germination-croissance” de couches minces synthétisées par condensations de plasmas froids (pulvérisation diode)Thin Solid Films, 1970
- Mécanismes de “germination-croissance” de couches minces synthétisées par condensation de plasmas froids (pulvérisation diode). II. Schéma réactionnelThin Solid Films, 1970