Softlithographie

• 2 March 1998
• journal article
• aufsatz
• Published by Wiley in Angewandte Chemie
• Vol. 110  (5) , 568-594
• https://doi.org/10.1002/(sici)1521-3757(19980302)110:5<568::aid-ange568>3.3.co;2-o

Abstract

Keywords

• ELASTOMERE
• LITHOGRAPHIE
• MATERIALWISSENSCHAFTEN
• MUSTERERZEUGUNG
• SELBSTORGANISATION