Atomic Layer-by-Layer Epitaxy of Silicon and Germanium Using Flash Heating in CVD
- 1 June 1995
- journal article
- Published by EDP Sciences in Journal de Physique IV
- Vol. 05 (C5) , C5-1101
- https://doi.org/10.1051/jphyscol:19955130
Abstract
Journal de Physique IV, Journal de Physique Archives représente une mine d informations facile à consulter sur la manière dont la physique a été publiée depuis 1872.Keywords
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