Mesure par diffraction des rayons X des microd formations dans des films minces textur s d'Au

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Abstract
Cette étude présente une analyse des microdéformations dans des films minces de 150 nm d'Au texturé. En appliquant la méthode de la "largeur intégrale" connue et employée dans les matériaux massifs, nous avons montré sa faisabilité et son intérêt dans le cas de couches minces. Ainsi, en relation avec la méthode de mesure des contraintes par diffraction des rayons X, elle a permis de mettre en évidence des effets importants des conditions opératoires sur la microstructure des films

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