Elaboration et caractérisation en hyperfréquences de films minces de NbN

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Abstract
Des films minces de nitrure de niobium, déposés par pulvérisation réactive à cathode magnétron en courant continu sur des substrats de niobium, ont été caractérisés en hyperfréquences (10 GHz) pour déterminer la résistance de surface et la profondeur de pénétration des champs, en fonction de la température et de l'épaisseur des dépôts. La méthode expérimentale utilisée permet d'étudier plusieurs échantillons au cours d'une même expérience. Les résultats obtenus confirment la supériorité de la technique de dépôt utilisé sur les techniques classiques, et sont en très bon accord avec les prévisions théoriques, ainsi qu'avec les résultats obtenus par d'autres méthodes de mesure