Ein Beitrag zur orientierten Abscheidung halbleitender Verbindungen aus der Dampfphase am Beispiel AlN — Al₄C₃

1 October 1962

journal article
research article
Published by Walter de Gruyter GmbH in Zeitschrift für Physikalische Chemie

Vol. 221O (1) , 259-263
https://doi.org/10.1515/zpch-1962-22126

Abstract

Article Ein Beitrag zur orientierten Abscheidung halbleitender Verbindungen aus der Dampfphase am Beispiel AlN — Al4C3 was published on October 1, 1962 in the journal Zeitschrift für Physikalische Chemie (volume 221O, issue 1).