Vacuum deposition of silicon on corundum

• 30 November 1967
• journal article
• Published by Elsevier in Solid-State Electronics
• Vol. 10  (11) , 1093-1102
• https://doi.org/10.1016/0038-1101(67)90128-1

Abstract

Keywords

• EPITAXIAL
• DES SUBSTRATES
• UTILISABLE POUR
• POUR LES TRANSISTORS
• D'UNE QUALITÉ UTILISABLE