Modification des processus hors équilibre au cours de l'interaction entre un plasma basse pression et une surface. I. Cas d'un plasma de NH3. Application à la catalyse chimique

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Abstract
Dans cette étude nous avons mis en évidence les relations existant entre les processus de catalyse ou d'inhibition, le caractère hors équilibre du plasma et les transferts d'énergie et de matière, au cours de l'interaction entre un plasma NH3 basse pression et une surface. Nous avons établi que l'activité catalytique ou inhibitrice d'un matériau est liée à son aptitude à modifier la répartition de l'énergie vibrationnelle du plasma dans la couche limite. L'ensemble de nos résultats expérimentaux, les analyses spectroscopiques et de surface, ont mis en évidence une réaction de nitruration des surfaces reliée à la chimisorption dissociative des molécules. Tout matériau qui augmente le caractère hors équilibre du plasma, favorise un processus catalytique et facilite l'étape de nitruration. Tandis que tout matériau qui thermalise le plasma, inhibe la réaction de décomposition et défavorise l'étape de nitruration