Élaboration à basse température de couches minces D'ln2O3 par évaporation thermique réactive et par évaporation réactive assistée par plasma
Open Access
- 1 January 1993
- journal article
- Published by EDP Sciences in Journal de Chimie Physique et de Physico-Chimie Biologique
- Vol. 90, 1-14
- https://doi.org/10.1051/jcp/1993900001
Abstract
Journal de Chimie Physique et de Physico-Chimie BiologiqueKeywords
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