Hydrothermal Oxidation of Si3N4 Powder
Open Access
- 1 January 1986
- journal article
- Published by Ceramic Society of Japan in Journal of the Ceramic Association, Japan
- Vol. 94 (1085) , 139-144
- https://doi.org/10.2109/jcersj1950.94.139
Abstract
高純度Si3N4粉末と高温高圧のH2O (10, 100MPa・200°-800℃) の反応について調べた. Si3N4は200℃以上でH2Oと反応して, アモルファスシリカとアンモニアを生成した. アモルファスシリカは, 酸化反応がほぼ終了した後, 400℃以上でクリストバライトとキータイトに結晶化した. 重量増加から酸化反応率を計算したところ, 反応は拡散律速により進行しているものと考えられ, 見掛け上の活性化エネルギーは, 液相のH2Oによる酸化反応で70-80kJ/mol, 気相では130kJ/molであった. 液相の値はシリカ中のH2Oの拡散について報告されている値に近く, Si3N4のH2Oによる酸化は, アモルファスシリカ層中のH2Oの拡散により律速されているように思われる. 気相のH2Oによる酸化は, 表面がシリカ層により一様に覆われた後は, 液相のH2Oによる酸化に比べ, 極めて遅くなる.Keywords
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