Etching of GaAs on AlGaAs in Rie-Mode

• 1 January 1989
• journal article
• Published by Springer Nature in MRS Proceedings
• Vol. 158
• https://doi.org/10.1557/proc-158-401

Abstract

Keywords

• STRUCTURE
• ALGAAS
• ETCH
• STOP
• ΜBAR
• FETS
• VOLTAGE