酸化物レジストによる集束イオンビーム加工と金属細線の作成

• 5 July 1991
• journal article
• Published by The Electrochemical Society of Japan in Denki Kagaku oyobi Kogyo Butsuri Kagaku
• Vol. 59  (7) , 614-618
• https://doi.org/10.5796/kogyobutsurikagaku.59.614

Abstract