Synthèses comparées d'AlSb par recuit laser et décharge capacitive
- 1 January 1983
- journal article
- Published by EDP Sciences in Revue de Physique Appliquée
- Vol. 18 (4) , 207-212
- https://doi.org/10.1051/rphysap:01983001804020700
Abstract
La synthèse de film mince d'AISb est réalisée à partir de films sandwiches Al/Sb soumis soit à un rayonnement laser, soit à une décharge capacitive. La comparaison entre ces deux techniques permet une meilleure compréhension de la nature de la transformation. L'énergie de seuil nécessaire pour que la transformation soit complète (dans le cas de films multicouches dont l'épaisseur totale est de l'ordre de 1 000 Å) est mesurée en fonction de la durée de la pulsation, sur une gamme s'étendant de 10-7 à 10-1 s. La température induite par ces pulsations d'énergie est ensuite calculée être d'au moins 900 K, soit approximativement les points de fusion des composantsKeywords
This publication has 1 reference indexed in Scilit:
- Laser-induced metal-to-semiconductor phase transition in mixed Al-Sb filmsApplied Physics Letters, 1979