PREPARATION OF ZnO THIN FILMS BY SPUTTERING OF THE COMPOUND IN OXYGEN AND ARGON
- 1 May 1966
- journal article
- Published by AIP Publishing in Applied Physics Letters
- Vol. 8 (9) , 220-221
- https://doi.org/10.1063/1.1754564
Abstract
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- ZINC OXIDE FILM TRANSDUCERSApplied Physics Letters, 1966
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