Evolution des contraintes résiduelles dans des films minces de tungstène en fonction de l'irradiation

Publisher Website
Google Scholar
Abstract
Nous avons étudié, par deux méthodes différentes, l'évolution des contraintes résiduelles dans des couches minces de 1 000 Å de W en fonction de la dose d'irradiation. Ces expériences mettent en évidence une relaxation des fortes contraintes de compression (σ=- 4,5 GPa) observées dans les échantillons vierges quand la dose de l'irradiation augmente. Notre étude montre par ailleurs, l'existence d'un seuil de relaxation et relie de façon indiscutable, la microstructure de la couche mince (défauts ponctuels, taille de grains) au phénomène de relaxation, donc aux contraintes elles-mêmes

This publication has 0 references indexed in Scilit: