Sonderforschungsbereich 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays". Grundlagenforschung mit Anwendungsbezug auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik an der TU Chemnitz
- 1 May 2001
- journal article
- Published by Walter de Gruyter GmbH in it - Information Technology
- Vol. 43 (5) , 282-284
- https://doi.org/10.1524/itit.2001.43.5.282
Abstract
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