Le silicium amorphe hydrogène et ses applications à l'imagerie

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Abstract
Le silicium amorphe hydrogéné est un matériau très attrayant pour les applications à l'imagerie. Ses propriétés, lorsqu'il est déposé en couches minces, permettent de l'utiliser dans des dispositifs tels que les cibles photosensibles pour tubes de prises de vues Vidicon. Après avoir mentionné les contraintes liées à un tel dispositif, nous décrivons les différentes structures déjà étudiées, et nous évaluons les améliorations apportées au dispositif par le dépôt d'un contact bloquant intermédiaire. L'utilisation en tant que contact bloquant d'une couche de a-SixNy(H) préparée par décharge luminescente dans un mélange gazeux SiH4-N2-H 2 ou SiH4-NH3-H2 a été étudiée, et nous présentons des résultats concernant les propriétés optiques, électriques et photoélectriques de ce matériau

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