Analysis of aluminium nitride using acid pressure decomposition method.

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Abstract
テフロン加圧容器を用いて窒化アルミニウム粉末試料の組成及び不純物の定量法を検討した.試料を12M塩酸,200℃,3時間の条件で加圧酸分解した後,AlはEDTA滴定法,Nは中和滴定法で,又,不純物はICP-AESで定量した.本分解法を用いた場合の分析精度及び正確さの確認のために,Alはアルカリ融解法との比較を行ったところ,よく一致した結果を得た.Nは,本法に従ってNBS194中のNを定量したところ,標準値とよく一致した.又,不純物の定量においては,マトリックス成分の影響を調べたところ,共存元素の影響は認められなかった.これにより,同一試料溶液から組成及び不純物が高精度かつ,迅速に定量可能となった.

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