Abprodukte und Abgasentsorgung von Fluor‐ und Chlorverbindungen aus plasmachemischen Prozessen

• 1 February 1992
• journal article
• research article
• Published by Wiley in Vakuum in Forschung und Praxis
• Vol. 4  (1) , 43-54
• https://doi.org/10.1002/vipr.2230040111

Abstract

Keywords

• IM FALLE
• CHLORS
• FLUORKOHLENSTOFFEN
• UND
• DIE
• DER
• VON
• MIT