Analyse de données ellipsométriques provenant de l'investigation de films très minces absorbants et homogènes

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Abstract
Nous décrivons un procédé d'obtention de films d'oxyde de fer, minces, homogènes, absorbants, d'épaisseur bien déterminée inférieure à 30 Å. La stoechiométrie de ces films formés par oxydation anodique d'un substrat de fer a été déterminée par utilisation d' 18O et par observation d'interactions nucléaires induites par des faisceaux d'ions légers monocinétiques d'une énergie voisine du MeV. L'analyse détaillée des résultats provenant d'une investigation ellipsométrique de ces films est présentée : nous montrons que même dans le cas d'une étude de films homogènes, l'ellipsométrie ne permet pas de déduire les constantes optiques des films ; elle donne cependant l'ordre de grandeur de leur épaisseur. Par contre l'association de ces résultats à ceux obtenus par microanalyse nucléaire nous a permis de déterminer les constantes optiques de ces films très minces, absorbants