Étude expérimentale des effets de l'eau sur les propriétés électriques de l'oxyde anodique de silicium et de l'interface oxyde/semiconducteur
- 1 January 1968
- journal article
- Published by EDP Sciences in Revue de Physique Appliquée
- Vol. 3 (3) , 265-274
- https://doi.org/10.1051/rphysap:0196800303026500
Abstract
L'action de l'eau sur l'oxyde anodique de silicium se traduit par une évolution lente de toutes ses propriétés électriques. Les phénomènes de conduction, de redressement et d'accumulation de charges sont modifiés, la permittivité passe de 3,9 à 6,2, la barrière de potentiel à la surface du silicium diminue. L'application d'un très fort champ continu permet de revenir sur cette évolution. Des expériences de marquage par le tritium suggèrent que l'action de l'eau se traduirait essentiellement par une incorporation de protonsKeywords
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