Zum Umsatz des Monomers Hexamethyldisiloxan in siliciumorganisches Schichtmaterial bei der Glimmpolymerisation
- 1 April 1984
- journal article
- research article
- Published by Wiley in Acta Polymerica
- Vol. 35 (4) , 257-260
- https://doi.org/10.1002/actp.1984.010350402
Abstract
Durch Ausmessen der Profile der Schichtabscheidungsrate entlang der Wand durchströmter langer Entladungsrohre lassen sich deren Abhängigkeiten von den verschiedenen Parametern diskutieren. Speziell die Auswertung des Umsetzungsgrades liefert wichtige Aussagen zum Mechanismus der Glimmpolymerschichtbildung.Keywords
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