Plasmapolymerisation — Ein Verfahren für viele Anwendungen
- 1 February 1992
- journal article
- research article
- Published by Wiley in Vakuum in Forschung und Praxis
- Vol. 4 (1) , 22-29
- https://doi.org/10.1002/vipr.2230040107
Abstract
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- Beschichtung von dreidimensionalen Substraten mit einem magnetfeldunterstützten Mikrowellen‐Plasma bei RaumtemperaturVakuum in Forschung und Praxis, 1991
- Plasma Science and TechnologyPublished by Cornell University Press ,1982