Propriétés des surfaces de GaAs (110) clivées induites par l'oxygéne et la température — contribution aux caractéristiques des diodes Schottky
Open Access
- 1 January 1984
- journal article
- Published by EDP Sciences in Revue de Physique Appliquée
- Vol. 19 (3) , 197-204
- https://doi.org/10.1051/rphysap:01984001903019700
Abstract
Cet article est consacré à l'étude de la contribution du chauffage ou d'une exposition à l'oxygène aux propriétés des surfaces (110) de GaAs et des diodes que l'on réalise sur les surfaces ainsi modifiées. On effectue une étude des modifications du travail de sortie, de la barrière et de l'affinité électronique, étude qui permet de montrer que, dès quelques dizaines de Langmuirs des états de surfaces accepteurs et donneurs sont déjà créés et modifient la barrière de façon beaucoup plus importante, toutes proportions gardées, que le chauffage à 530 °C. A plus forte exposition (2 x 104 Langmuirs) les topographies sont uniformes et l'action des défauts de clivage sur le travail de sortie et le photovoltage, est estompée. Les diodes obtenues par dépôt d'argent sur ces surfaces ont des propriétés légèrement différentes de celles obtenues par dépôt d'argent sur la surface aussitôt après clivage. Ces différences sont analysées en termes de défauts, de dipôle et de perturbation de l'interface induite par l'oxygène ou le chauffageKeywords
This publication has 26 references indexed in Scilit:
- Are interface states consistent with Schottky barrier measurements?Applied Physics Letters, 1982
- Interaction of metals with semiconductor surfacesApplications of Surface Science, 1982
- Surface defect effects on Schottky barriersJournal of Vacuum Science and Technology, 1981
- Unified defect model and beyondJournal of Vacuum Science and Technology, 1980
- Unified Mechanism for Schottky-Barrier Formation and III-V Oxide Interface StatesPhysical Review Letters, 1980
- Chemisorption site geometry and interface electronic structure of Ga and Al on GaAs(110)Journal of Vacuum Science and Technology, 1979
- New and unified model for Schottky barrier and III–V insulator interface states formationJournal of Vacuum Science and Technology, 1979
- Metal contacts to silicon and indium-phosphide-cleaved surfaces and the influence of intermediate adsorbed layersJournal of Vacuum Science and Technology, 1979
- Surface reactions and interdiffusionJournal of Vacuum Science and Technology, 1979
- The influence of intermediate adsorbed layers on the metal contacts formed to indium phosphide crystalsSurface Science, 1979