Ein Interferenzverfahren zur Absoluten Ebenheitsprüfung Längs Beliebiger Zentralschnitte

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Abstract
Es wird ein Verfahren beschrieben, nach dem man durch interferentiellen Vergleich dreier Platten absolute Aussagen über ihre Abweichungen von einer idealen Ebene gewinnt, ohne ein Ebenheits-Normal (z.B. einen Flüssigkeitsspiegel) als Vergleichsfläche zu benötigen. Das Verfahren arbeitet mit neuen Platten-Lagekombinationen und Ebenen-Bezugspunkten. Dadurch kann man die Abweichungen von der idealen Ebene (gegenüber den bisher bekannten Verfahren) längs beliebig vieler Durchmesser aus 4 Interferenzaufnahmen erhalten. Möglichkeiten zur weiteren Genauigkeitssteigerung werden angegeben, z.B. durch Fehlerausgleichsrechnung. Das Verfahren eignet sich für die Schaffung fester Planflächen-Normale, deren Abweichungen von der Ebenheit mit hoher Genauigkeit bestimmt werden sollen; ferner eignet es sich zur genauen Prüfung optischer Planflächen, wenn derartige Normale noch nicht vorliegen.

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