Hochvakuumaufdampfung von Germanium auf NaF und NaCl

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Abstract
Bei einem Vakuum von 10−5 Torr wurde Germanium auf luftgespaltene und vakuumgespaltene NaCl‐ und NaF‐Substrate aufgedampft. In Abhängigkeit von der Substrattemperatur (280–500°C), der Aufdampfgeschwindigkeit (1–35 Å s−1) und der aufgedampften Schichtdicke (100–1500 Å) wurde die Struktur der Germaniumabscheidungen untersucht. Hierbei interessierten der Übergang amorph/kristallin, die Zahl und Größe der Kristallite, ihre Orientierung und Anordnung auf der Substratoberfläche sowie der prozentuale Anteil der mit Germaniumkristalliten bedeckten Substratoberfläche. Die Untersuchungen erfolgten mit einem Elektronenmikroskop durch Abbildung und Beugung.

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