Auf dem Weg zur „Quanten‐Mechanik”︁: Nanomechanische Resonatoren dienen als schnelle Schalter und Frequenzgeber

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Abstract
Nanostrukturen lassen sich heute mit Größen von nur einigen 10 nm gezielt herstellen. Im Vergleich dazu betragen die typischen Abmessungen einzelner Proteine 1–10 nm. Man kommt folglich mit maßgeschneiderten Halbleiterstrukturen schon in den Größenbereich von funktionellen Makromolekülen, den kleinsten „Maschinen”︁, die in der Natur vorkommen. Zurzeit besitzen die Halbleiterelemente zwar noch keine vergleichbare Flexibilität und Funktionalität, gerade was die Kopplung mechanischer und elektronischer Eigenschaften betrifft. Doch neue Experimente zur 3D‐Strukturierung, Dotierung und Beschichtung von Nanoresonatoren könnten schon bald eine anwendungsreife Nanomechanik hervorbringen. Im Folgenden diskutieren wir, wie man nanomechanische Bauteile herstellt, in welcher Form sie charakterisiert werden und welche Anwendungen sie ermöglichen.